低真空2

低真空での画質が悪すぎるので、ネットで調べたらビーム径を大きくしろとあった。

実際に試してみたら、画質が著しく向上した。今まで低真空はあまり使っていなかったが、今後、活用できそう。

田中SEM研究所通信 低真空走査電顕観察「虎の巻1」 ：日立ハイテク